這種新型紫外LED光源由OAI久經(jīng)考驗(yàn)的光刻專(zhuān)家設(shè)計(jì)和制造。該光源提供了許多獨(dú)的特的好處，
其中最重要的是在異常長(zhǎng)的壽命內(nèi)保持一致的強(qiáng)度。該光源非常節(jié)能，無(wú)需維護(hù)或更換光源，
并且不含汞。
OAI紫外LED光源提供的光束大小在4"和12"之間，光束均勻性?xún)?yōu)于+/- 4%。它具有一個(gè)棱
鏡陣列和光導(dǎo)管，以實(shí)現(xiàn)卓的越的均勻性。準(zhǔn)直角度小于2度。這種光源具有可變的強(qiáng)度，波長(zhǎng)
為365納米、405納米或兩者的組合。功能包括劑量控制和定時(shí)曝光。易于使用，OAI光源使
用觸摸屏界面，并有一個(gè)USB遠(yuǎn)程接口。
UV光源提供多種選擇，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長(zhǎng)或多波長(zhǎng)版本。
該系統(tǒng)可以集成到任何OAI光刻系統(tǒng)中。
更新時(shí)間：2023-12-13 
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