主動式真空計
CDG-500 電容薄膜真空計
Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜真空計可在高壓區(qū)域內提供高水平的準確度。可提供從 1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程測量。
CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷隔膜，可提供超常的信號穩(wěn)定性，并具有從大氣環(huán)境中快速恢復、預熱時間短和堅固性沒有可以相比的特點。
廣泛應用于薄膜和真空工藝、工業(yè)真空、數(shù)據(jù)存儲和半導體制造等應用。
特性
全量程為 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按鈕調零，可選設定點控制易于集成
優(yōu)異的長期信號穩(wěn)定性和重現(xiàn)性
從大氣壓下恢復迅速，啟動后迅速達到穩(wěn)定狀態(tài)，縮短了過程循環(huán)時間
采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護，確保了堅固耐用
高水平的準確度(讀數(shù)的 0.2%)
更新時間：2023-11-10 
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